第438章 光刻机项目：另辟蹊径

沐阳研究更新后的阅读系统两个多小时才研究透，兴奋得睡不着。

喝了一杯茶，他想看看芯片制造技术的核心设备：光刻机。

目前市场上，有两种主流光刻机，一个是DUV光刻机，另一个是EUV光刻机。

DUV是深紫外线（Deep Ultraviolet Lithography），EUV是极深紫外线（Extreme Ultraviolet Lithography）。

从制程范围来看，DUV基本上只能做到25nm，Intel凭借双工作台的模式做到了10nm，但是却无法达到10nm以下。

只有EUV能满足10nm以下的晶圆制造，并且还可以向5nm、3nm继续延伸。

这个线宽其实就是跟光的线宽有关系，比如可见光的G线，那就是436nm，如果用来刻蚀，线路肯定很宽。

可以简单地认为，光刻机的光系统其实就是一支画笔，不同的光代表不同粗细大小的笔芯，越细的笔（光）能够画越细越复杂的画。

DUV就是彩笔，EUV就是中性笔，中性笔画的线条比较细，比较好用。

这么理解，也好理解光刻机到底如何刻蚀电路图了。

当前，国外品牌光刻机主要以荷蓝ASML，岛国Nikon和三大品牌为主。

EUV的价格是1-3亿美金/台，DUV的价格为2000万-5000万美金/台不等。

目前先进的光刻系统就是EUV光刻机，如果沐阳打算走EUV光刻机路线，必然绕不开别人的技术专利保护范围。

因此，他只能寻找另外光种的光刻机，同时要考虑到光的分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等指标。

就说分辨率，如果制作出来的电路图模湖不清，那芯片肯定不好。

光刻机其它的指标，也可以比喻成画笔的性能就行了。

并不是说，沐阳不能搞光刻机了，只是说，再搞DUV和EUV光刻机，绕不开以上三家企业的技术专利保护范围。

所以，他只能另辟蹊径。

很久之前，沐阳就想到过电子束光刻机。

原本，再过几年，漂亮国的一个实验室研发出一套名为ZyvexLitho1的光刻系统，基于STM扫描隧道显微镜，使用的是EBL (E-Beam Lithography)电子束光刻方式，制造出了0.7nm线宽的芯片，只是没法实现批量生产，或者成本高过。

沐阳相信，如果是技术成熟的电子束光刻机，线宽比0.7nm更小。

他在系统商店普通货架上默念搜索“电子束光刻机”，很快，搜索出几款相关技术。

沐阳选择适合自己公司的一款技术：EBL01

技术参数：

1.最小线宽：小于1nm

2.加速电压：5-500kV

3.电子束直径：小于0.5nm

4.套刻精度：1nm(mean+0.2σ)

5.拼接精度：1nm(mean+0.2σ)

6.加工晶圆尺寸：4-18英寸

7.描电镜分辨率：小于0.2nm

主要特点：

1.采用超高亮度和超高稳定性的TFE电子枪；

2.出色的电子束偏转控制技术；

3.采用场尺寸调制技术，电子束定位分辨率可达0.0002nm；

4.采用轴对称图形书写技术，图形偏角分辨率可达0.002mrad；

5.应用领域广泛，如微纳器件加工，研究用掩膜制造，纳米加工（例如单电子器件、量子器件制作等），高频电子器件中的混合光刻，图形线宽和图形位移测量等。

……

需要成就点：300点！

……

沐阳大概看了下简介，光从技术参数上就看出它的先进性。

还有更加先进的光刻机，但是，以星海集团目前的条件，买了也造不出来，而且需要的成就点非常多。

这个EBL01号称可以制造1nm以下的芯片，但量产成本会比较高。

因此，当前的情况，星海集团可以从7nm芯片工艺开始，可以保证在2018年之前保持在世界第一地位。

等竞争对手可以批量搞7nm芯片了，星海集团再推出5nm或3nm芯片。

有些设备应用，也用不着这么高端的芯片，28nm芯片工艺足够，也是未来十年内的主流。

只是说，沐阳不打算玩什么中低端芯片。

另外，沐阳打算弄一些小于1nm的芯片，用于制造量子计算机和超算，这类芯片他打算自用。

接下来，沐阳确认购买EBL01技术。

十几分钟后，沐阳把EBL01技术吸收完毕。

他感觉自己对光刻机有了更深入的了解，如今就是实实在在的芯片制造顶尖专家。

买了光刻机的技术，沐阳还得购买芯片设计技术、芯片设计相关软件和相关设备。

这个芯片设计软件，他就不打算自己研发了，他在芯片软件设计这一块是弱点，靠自己研究不知道得花多长时间。

而且，目前公司形势严峻，一旦漂亮国知道自己公司在搞芯片了，会对星海集团搞各种限制。

沐阳现在赶时间，同时还有更多更重要的事情需要他亲自处理。

于是，他又花了400点成就点。

这一晚，沐阳就花了700点成就点，还是有些心疼。

等吸收完新技术后，沐阳实在有些发困了，回床休息。

翌日，沐阳是被宋雪露吧嗒一下脸蛋睡醒的。

“孩子他爸，生日快乐。”

“谢谢，有你真好。”

沐阳睁开朦胧的双眼，揽过妻子的纤腰。

他老婆跟他同年出生，只比他小几个月。

系统8级时，商店有驻颜、延迟衰老类的医药技术，沐阳希望在二十年内研发出来，能够用在老婆身上。

“我看你挺疲惫的，昨晚几点睡的？”

“好像凌晨三点多了吧。”

“这么晚呀，又有什么烦恼？”

“不是烦恼，就是突然想到一些灵感，就起来记录一下。”沐阳揉一揉老婆的秀发道。

“哦，现在才七点多，你继续睡一会吧。”

沐阳点头，继续补觉，直到九点才起床。

今天他生日，也没搞什么庆祝仪式，他不太喜欢搞这一套，现在家里不缺钱，吃喝都是最好的，每天过得跟过节一样。

吃过早餐，陪了一会孩子。

现在孩子已经会喊他爸爸了，只是发音不够清晰。

他对几个照看孩子的婴儿师和佣人检测了一下忠诚度。

忠诚度并不是瞄一眼就能测试出来，大概需要几秒钟时间，而且被检测人员在沐阳几米范围内。

被检测的人员，头顶冒出一个拳头大小的数值，超过70的数值都是绿色，值越高，颜色越深。

最终，他们的忠诚度都在80-85之间，这也让沐阳放心了些，他最怕某个佣人对他的孩子不怀好意。

然后，沐阳再检测自己的保镖，发现忠诚度就高了许多，都在88以上。

保镖追随自己的时间长，跟自己关系好，沐阳对他们也好，忠诚度高一些也属正常。

同时，沐阳发现，他检测十个人之后，他发现自己系统金钱竟然少了一千万。

检测一个人的忠诚度就花一百万系统金钱？

如果只是这样的话，沐阳还能接受，只是，如果不是公司重要骨干和重要人员，那真的没必要进行检测了。

他是随随便便赚到一百万元，但却不容易刷到一百万系统金钱，说不定这系统金钱在未来有更大用处呢。

对于家人，沐阳不想检测什么忠诚度，也没有想过。

如果有那个想法，说明已经不信任家人了。

第二天，公司正常上班。

沐阳借新的一年开个中高层管理层碰头会，其实就是想检测所有中高管理层的忠诚度，最终发现都在80到90之间，像周晨和张萧峰对他的忠诚度都达到了90。

管理层不存在间谍，沐阳没有之前的担忧了。

一般情况，沐阳都不用再去开什么会了，现在都由集团总裁周晨来负责公司大小事务，如今更加放心了。

沐阳检测完管理层的忠诚度后，在各技术部和实验室走一圈，针对重要部门的核心人员进行检测，发现大多员工忠诚度在70到85之间。

这一轮检测，沐阳还真发现了两个异常数值，两个都是高级软件工程师，忠诚度值分别是17和19，头顶的忠诚值颜色变成红色，都是在工业软件部门，进公司不到一年时间。

其它部门的技术不好偷，但软件类核心代码，那真是的好偷多了，只不过，公司针对这一类核心技术保护得很好，别说一般员工，就连工业软件的管理层都难接触到。

沐阳记下对方名字后，回到办公室，找来人事总监赖春琴，她在去年由人事经理提升到总监级别。

等赖春琴到他办公室后，沐阳把一张纸条递给她，严肃地说：“赖总，帮我认真查一下这两个人的背景和来历，注意动静。”

“董事长，你怀疑他们是间谍？”虽然赖春琴是第一次听董事长这么交代，但她做为人事总监，负责人员招聘，警惕性很高，不少间谍想混进星海集团，她也是跟下属这样提醒。

沐阳脸色郑重，随意找一个借口：“是的，你说的没错，间谍的可能性比较高，如果真是，危害性比较高。

让保安部检查一下两个人的历史视频，如果发现真有对公司不利的举动，已经违法的话，那就报警；

如果没有，想办法辞掉，也不用调到非核心部门，我们没有心思跟他们玩猫抓老鼠游戏，谁知道他们哪一天搞大破坏。”

“好的。”

赖春琴点头，也没问董事长是如何发现的，谁告诉他，这不是她应该问的。

她离开后，就让人事经理方雪认真调查两人的情况。

公司的办公室和实验室都安装有高清摄像头，不算是侵犯员工的隐私权。

还有沐阳设计的员工行为数据分析软件，可以直接锁定某个人员的视频，一般情况下，都不会动用这个，只有人事部的管理层和高层知道这个玩意，尚未在保安部开放。

每个员工都录过人脸识别，所以这个软件才具备锁定功能。

只用了半天时间审查，结果就出来了。

查背景，的确没查出什么。

但查看视频时，发现两人的行踪，特别是晚上加班后的行踪，有些鬼鬼祟祟。

公司也不能无缘无故辞退员工，但赔偿到位，员工也没法说什么。

1月3号上午，被查的一名高级软件工程师陈一方来找人事部找人事经理质问：

“为什么辞退我，我又没有犯什么错，每天兢兢业业工作。”

“不好意思，这是上面的决定，公司会赔偿你的损失。”人事经理方雪很抱歉说道，没有证据的事，她也不好说出来。赖总把这件事交给她处理，只能做到这一步了。

另一位员工，反倒是没说什么，直接同意了，估计是知道原因了，星海集团不想撕破脸，暂时没找到证据而已。

“我不要什么赔偿，我只想留在公司继续做下去。”

“陈一方，其实大家没必要耗下去，我虽然不知道是什么原因，但肯定是有原因的，星海集团不会无缘无故辞退员工，你先回去考虑一下吧。”

陈一方听到这话，只好气呼呼离开人事部，请假半天时间。

他离开星海集团的范围，打了一个隐秘电话。

“你的行动被发现了？”

“应该没有，我到星海集团接近一年时间，根本没有做出什么行动，如果没有把握，我不会轻易动手的。星海集团的技术保密做得非常好，AD软件的核心代码，别说是专家，就连技术经理，都难以接触到，听说是沐阳亲自编写的。”

“那么大的工作量，沐阳不太可能亲自编写，有可能他有另外的技术团队，只是你们不知道而已。既然怀疑到你了，而没有说明原因，说明星海集团没有找到证据，你留下来也没用了，回来吧，公司需要你。”

陈一方知道老板不相信沐阳的神奇，也不想过多地解释，思索了一会，叹了口气：“好的。”

如果是正常情况，星海集团给的待遇真的非常好，他是不想离开的，而且元旦过后，公司正式给员工发放海外悍马公司的股权激励。

但是，有些事情，并不是钱能够讲得通的。

如果他背叛他的老板，他和家人的下场估计会很惨，这是他不愿意尝试的。

当天下午，他再次找人事经理方雪，同意离职，第二天就搬离星海集团。

沐阳再次收到赖春琴的汇报时，郑重说了一句：“嗯，知道了。”

虽然被开除的两人只是两个小人物，但沐阳也不得不重视起来，毕竟一粒老鼠屎，就能搞脏一锅汤。

升级后的沐阳非常繁忙，有很多计划执行，而且元旦过后，离今年春节很近了，1月30日就是除夕，公司计划1月24日正式放年假，他的事情也多了一些。

今年还是按照去年一样，年会和年夜饭都在同一天召开，在公司篮球场举办年会。

芯片制造的设备研发周期会比较长，EBL电子束光刻机的设备是复杂，但难度不在结构性的复杂，而是很多零部件很难在市场上找到匹配的，只能向厂商定制，另一方面，由于生产量不大，厂商并不多，可能全球就只有一家生产某个零部件，对方不一定卖给星海集团，最难的就在这里。

如果定制弄不到，那只能自己研发生产，会拉长整个研发周期。

沐阳一翻思索，芯片是公司的重中之重，也关系到未来智能化的布局。

只要是不容易采购的进口零部件，公司还是想办法自主研发生产，不能被老外卡脖子。

先搞电子束光刻机，等进展差不多了，再搞芯片设计，一步一步来。